型號 | 極限壓力 | 抽氣速率(m3/min) | 進氣口徑(mm) | 排氣口徑(mm) | 配用功率(kw) | |
hPa | Torr | |||||
2YK-1 | 13.3 | 10 | 1 | 35 | 35 | 4 |
2YK-2 | 6.6 | 5 | 3 | 50 | 50 | 7.5 |
2YK-6A | 6.6 | 5 | 6 | 50 | 50 | 11 |
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